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977清洗机

977 8” Wafer Cleaning System977 8英寸 晶圆清洗系统——977清洗机

Standard Features: 基本配置

Supporting up to 8"round substrates 支持到8吋的工作台

Atomizing cleaning 支持二流体清洗

Programmable recipes  可编程菜单

Storage capacity: 8 recipes  存储容量,可以存储8种

Internal vacuum generator 内含真空发生器

Spinner velocity range:  200-3,000 RPM 工作台转速可控,

200-3000转/分钟

Nitrogen and water adjustable pressure gages 二氧化氮和水

可调压力可调检测

Process monitoring and display 工作可控和展示

Automatic covering/opening  自动开合

Safety interlock 内含安全锁

Light tower

Dimensions (WxDxH): 410X625X946 mm 尺寸

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苏州光宝科技股份有限公司,主要以制造、研发及销售工业接着剂、工业用润滑油、自动化设备、光固化设备及之专业厂商,也是全球专业从事电子制程方案研发推广和电子制程产品系统供应服务的翘楚。

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